"이 회사 장비없으면 반도체 못 만듭니다."

네덜란드 벨트호벤에 본사를 두고 있는 세계 최대의 노광장비 기업 ASML을 두고 하는 말이다. 이 회사가 한국에 2400억원을 투자한다. 글로벌 공급기업과 전략적 협업을 통해 첨단장비 연합기지를 국내에 구축하겠다는 것이 정부의 복안이다.

산업통상자원부는 13일 발표한 'K-반도체 전략'을 통해 ASML의 국내투자를 유치했다고 밝혔다. ASML은 2025년까지 경기 화성에 2400억원을 투자해 재제조 공장과 트레이닝센터를 포함한 EUV 클러스터를 구축할 계획이다.

ASML은 n나노대의 반도체를 제작하기 위해 필수적인 EUV 노광 장비를 전세계에 독점 공급하는 업체로, 반도체 패권다툼을 벌이고 있는 미국과 중국도 함부로 대할 수 없는 '슈퍼을(Super 乙)'이다. 이 회사 장비가 없으면 첨단 반도체 생산이 불가능해서다.

국내기업들도 ASML에 적극 구애에 나서고 있다. 지난해 10월 이재용 삼성전자 부회장이 네덜란드를 방문해 피터 버닝크 ASML CEO(최고경영자)와 회동을 갖고 차세대 EUV(극자외선) 노광장비 공급 확대를 논의하기도 했다. 세계 최고수준의 파운드리업체인 삼성전자가 차세대 사업인 7나노 이하 공정으로 양산하려면 ASML의 협력이 필수적이어서다.


ASML이 생산하는 EUV 설비는 반도체 원판인 웨이퍼에 빛으로 회로를 그리는 노광 공정에 쓰인다. EUV 설비가 정밀할 수록 웨이퍼 한 장에 더 많은 칩을 생산할 수 있다. ASML의 장비는 기존 장비 193㎚(나노미터)의 14분의 1 수준인 극자외선을 쓰기 때문에 보다 정교한 작업이 가능하다. 때문에 대당 2000억원이 넘는 가격에도 전세계 반도체 기업들의 주문이 밀려있다. 삼성전자도 ASML EUV 설비를 10대 정도 운영하고 있는 것으로 알려져 있다.

삼성전자와 SK하이닉스, TSMC 등 굴지의 반도체 기업들의 러브콜이 이어지지만 ASML 한해에 생산 가능한 장비가 30~40대에 그친다. 때문에 한국에 ASML이 재제조 시설을 짓기로 한 것은, 국내에서 운용중인 EUV 설비 성능 업그레이드를 지원하기 위한 것이다. 장비 운용을 위한 전문인력 트레이닝 센터도 짓는 것도 국내 기업들에겐 상당한 도움이 될 것으로 보는 이유다. ASML 입장에서도 삼성전자와 SK하이닉스라는 우량 고객과 보다 밀접한 관계를 맺을 수 있다는 점에서 서로 도움이 되는 행보다.

앞서 2019년 세계 3위 반도체 장비 업체 램리서치도 경기 용인에 R&D 센터 투자를 결정한 바 있다. 2023년 상반기 용인지곡일반산업단지 입주를 목표로 하고 있다. 램리서치는 이곳에 원자레벨 식각기술 R&D 센터를 걸립하고 생산 능력 2배 확대를 위한 제조시설을 구축할 예정이다. 이외에도 실리콘웨이퍼, 포토 레지스트, 쿼츠, 특수가스등 첨단 소재산업 외투 유치도 속도를 내고 있다.

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